氮化硅结合碳化硅匣钵通常做为陶瓷行业和冶金的窑具使用。一般采用烧结氮化硅结合碳化硅冶金用匣钵具有非常高的机械强度，同时具有良好的抗热震性能，此外氮化硅和碳化硅及刚玉均具有良好的抗酸和抗碱性能，产品使用范围广，但采用金属硅制备氮化硅成本高，价格昂贵，使用范围受到限制，而采用本项目技术可为切割废料找到有效出路，同时也可大幅度降低产品使用成本，可得到广泛使用。

氮化硅结合碳化硅冶金用匣钵由内层、中间层和外层构成；所述的内层为碳质复合材料层，中间层为耐火棉或陶瓷棉，外层为不吸波材料层；其中，碳质复合材料层由如下重量份的组份组成：石墨50-70份，碳化硅20-40份，氮化硅5-10份，滑石1-5份，增强纤维0.5-4.5份，酚醛树脂5-15份；不吸波材料层由如下重量份的组份组成：莫来石50-80份，刚玉粉30-60份，高铝矾土50-90份，硅藻土30-50份，生铝石20-40份。

a、将多晶硅切割渣称重后加入球磨机，同时加入适量水（这部分水起到使硅球磨时湿润作用，一般不大于多晶硅质量的5%）和氮化烧结促进剂氟化铝，球磨分散1~3小时后，倒出，除铁；

b、把除铁后的多晶硅切割渣浆料，闪蒸干燥达到320目多晶硅切割渣粉备用；

c、按配方称量电熔刚玉砂、多晶硅切割渣粉料和氧化铝粉及黄糊精，同时把多晶硅切割渣粉和氧化铝粉预混合均匀；

d、将电熔刚玉砂倒入搅拌机，然后加入黄糊精，搅拌3~5分钟，加入3.8~4.5份的水，搅拌4~6分钟，然后加入多晶硅切割渣粉和氧化铝粉预混料碾压搅拌，碾压搅拌30~60分钟，得到混合料；

e、把混合料称重后倒入匣钵模具中，采用双面加压油压机中加压成型，取出在干燥窑中干燥12~24小时；

f、将干燥好的匣钵，装入氮化窑中，关好窑门，抽真空，通入氮气，同时通电加热。其中，步骤f所述氮气气氛要求炉内气氛含O2量小于0.01%。氮化气体压力0.02~0.04mpa，最终氮化温度1350~1450℃，氮化时间3~10小时。

利用多晶硅切割废料为原料制备匣钵，在使用过程中不易出现氧化、分解、合成等化学反应，化学稳定性好，且不易变形，尺寸稳定性好，匣钵内的压力较为稳定，不易出现破裂，匣钵具有耐腐蚀性强、热稳定性好、使用寿命长和使用成本低的优点.