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氮化硅结合碳化硅匣钵的制备方法
09-30
氮化硅结合碳化硅的两大优势热抗震稳定性和化学稳定性造就了,它可制造出来窑具的种类很多,它较好的热抗震稳定性、耐高温、耐磨损、耐腐蚀、抗氧化是其它耐火材料不及的,而且它常温抗折强度大,导热系数大,热膨胀系数是一般耐火材料的一半,也是它现在被广泛应用的主要原因。
今天我们要讲的是氮化硅结合碳化硅窑具的一种匣钵的制备方法:
1.先将多晶硅切割渣称重后加入球磨机,同时加入适量水(这部分水起到使硅球磨时湿润作用,一般不大于多晶硅质量的5%)和氮化烧结促进剂氟化铝,球磨分散1~3小时后,倒出,除铁;
2.把除铁后的多晶硅切割渣浆料,闪蒸干燥达到320目,多晶硅切割渣粉备用;
3.按配方称量碳化硅、多晶硅切割渣粉料和g粉及黄糊精,同时把多晶硅切割渣粉和g粉预混合均匀;
4.将碳化硅倒入搅拌机,然后加入黄糊精,搅拌3~5分钟,加入3.8~4.5份的水,搅拌4~6分钟,然后加入多晶硅切割渣粉和g粉预混料碾压搅拌,碾压搅拌30~60分钟,得到混合料;
5.把混合料称重后倒入匣钵模具中,采用双面加压油压机中加压成型,取出在干燥窑中干燥12~24小时;
6.将干燥好的匣钵,装入氮化窑中,关好窑门,抽真空,通入氮气,同时通电加热。
注意的是:氮气气氛要求炉内气氛含氧量小于0.01%。其中氮化气体压力要求在0.02~0.04mpa,最终氮化温度1350~1450℃,氮化时间3~10小时。
这种制作流程生产出来的氮化硅结合碳化硅匣钵,在使用过程中不易出现氧化、分解、合成等化学反应,化学稳定性好,且不易变形,尺寸稳定性好,匣钵内的压力较为稳定,不易出现破裂,匣钵具有耐腐蚀性强、热稳定性好、使用寿命长会是碳化硅匣钵的数倍,且使用成本也降低很多。
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